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Mikrowellen Plasmen
zum Inhalt
BESCHREIBUNG
Mikrowellen-Plasmaerzeugung, insbesondere im 2,45 GHz-ISM-Band, eröffnet eine Vielzahl von Anwendungen in der Medizin, der Biologie, bei der Halbleiterfertigung und der industriellen Oberflächentechnik. Dabei gewinnt der neu entstehende Bereich der atmosphärischen Mikroplasmen immer mehr Aufmerksamkeit, da sich hier sowohl ein hohes Potential für neue Plasmaanwendungen als auch die Chance für den Transfer von Niederdruckanwendungen in den kostengünstigeren atmosphärischen Bereich ergibt. In diesem Bereich entwickelt das FBH integrierte halbleiterbasierte Systeme aus Generator und Elektroden, die zuverlässig sind und einfach in die Anwendungen integriert werden können.
INNOVATIONSFELDER
Informations- und Kommunikations-Technologien Materialwissenschaften, physikalische und chemische Grundlagenforschung Optische Wissenschaften und Mikrosystemtechnik
Letzte Änderung: 2010-02-22
